반도체 클린룸용
· 필터분야 · 반도체클린룸용
반도체 및 디스플레이의 클린룸에 적용되는 케미칼 필터
흡착소재를 이용하여 반도체, Display 등 첨단공정의 클린룸의 유해가스 제거
불량을 초래하는 잔여가스 등을 효과적으로 제거하여 청정환경유지 및 생산성 향상
대상오염원에 따라 특수 처리된 흡착제 적용 및 맞춤설계 가능
정밀화학, 의약품 제조공정 및 악취, 유해가스 발생 산업현장 적용 가능