半導体クリーンルーム用
· フィルター分野 · 半導体クリーンルーム用
半導体およびディスプレーのクリーンルームに適用されるケミカルフィルター
吸着素材を利用して半導体、ディスプレーなど先端工程のクリーンルームの有害ガス除去
不量を引き起こす残余ガスなどを効果的に除去し、クリーンな環境維持及び生産性向上
対象汚染源によって特殊処理された吸着剤適用及びオーダーメード設計可能
精密化学、医薬品製造工程及び悪臭、有害ガス発生の産業現場に適用可能