半導体クリーンルーム用 2019-09-02T14:26:05+00:00

半導体クリーンルーム用

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半導体クリーンルーム用

半導体およびディスプレーのクリーンルームに適用されるケミカルフィルター

吸着素材を利用して半導体、ディスプレーなど先端工程のクリーンルームの有害ガス除去

不量を引き起こす残余ガスなどを効果的に除去し、クリーンな環境維持及び生産性向上

対象汚染源によって特殊処理された吸着剤適用及びオーダーメード設計可能

精密化学、医薬品製造工程及び悪臭、有害ガス発生の産業現場に適用可能